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HMDS烘箱涂布的HMDS是如何除去的？
來(lái)源: | 作者:雋思環(huán)境半導(dǎo)體設(shè)備部 | 發(fā)布時(shí)間: 2023-11-09 | 894 次瀏覽 | 分享到:

   HMDS烘箱是將晶圓表面暴露于蒸汽態(tài)的HMDS的方式氣相涂膠。氣相HMDS主要是用來(lái)增黏的作用。

   HMDS中文名六甲基二硅氮烷，是一種有機(jī)物，在水中的溶解性很低，但它可與多種有機(jī)溶劑混溶，比如醇、醚和多數(shù)非極性溶劑。溶劑清洗：可以使用有機(jī)溶劑溶劑（如異丙醇）來(lái)清洗晶圓，以去除多余的HMDS。


HMDS烘箱的作用

    HMDS烘箱也稱(chēng)為HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機(jī)等，是將HMDS蒸汽通過(guò)干燥的真空腔內(nèi)加熱到一 定溫度，在襯底表面上HMDS作為單層膜進(jìn)行化學(xué)結(jié)合，使這樣的襯底表面具有疏水性。

HMDS烘箱性能

溫度范圍：RT+10-250℃

真空度：≤1torr

控制儀表：彩色觸摸屏控制，操作更加簡(jiǎn)單，方便

HMDS工藝：蒸汽氣相涂布

安全檢測(cè)：超溫保護(hù)，HMDS泄漏檢測(cè)提示

儲(chǔ)液瓶：HMDS儲(chǔ)液瓶 

真空泵：無(wú)油渦旋真空泵

工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制